18550094419
          
        
               
        
        
        
                
        
          
    
          

          







          
	
    
          技術文章
          TECHNICAL ARTICLES
          

          




          
    
    
                      
                
        
          當前位置：首頁技術文章微流控芯片的光刻工藝和產品特點說明
                      
        
          
    
          

          




          
    
          
    	
          微流控芯片的光刻工藝和產品特點說明
          
        
          
        	更新時間：2022-10-21點擊次數：1382
        
          
        
          
        	 　　微流控芯片的光刻工藝：
          　　光刻是用光刻膠、掩模和紫外光進行微制造，工藝如下：
          　　（a）仔細地將基片洗凈；
           
          　　（b）在干凈的基片表面鍍上一層阻擋層，例如鉻、二氧化硅、氮化硅等；
           
          　　（c）再用甩膠機在阻擋層上均勻地甩上一層幾百A厚的光敏材料——光刻膠。光刻膠的實際厚度與它的粘度有關，并與甩膠機的旋轉速度的平方根成反比；
           
          　　（d）在光掩模上制備所需的通道圖案。將光掩模復蓋在基片上，用紫外光照射涂有光刻膠的基片，光刻膠發生光化學反應；
           
          　　（e）用光刻膠配套顯影液通過顯影的化學方法除去經曝光的光刻膠。這樣，可用制版的方法將底片上的二維幾何圖形精確地復制到光刻膠層上；
           
          　　（f）烘干后，利用未曝光的光刻膠的保護作用，采用化學腐蝕的方法在阻擋層上精確腐蝕出底片上平面二維圖形。
           
          　　微流控芯片的產品特點：
          　　提供真空環境，提高成功率
           
          　　采用真空熱壓系統，可根據不同材料、不同芯片通道寬度、深度設定壓力、溫度、時間，以達到熱壓及鍵合要求。
           
          　　控溫準確，面內熱分布均勻
           
          　　設備使用恒溫控制加熱技術，實現溫度精確控制；鋁合金工作平臺，上下面平整，熱導速度快、熱導均一。
           
          　　適用于多種尺寸芯片加工，實驗成本低
           
          　　設備加熱鍵合面積大，涵蓋常用尺寸的微流控芯片。
           
          　　參數精準可調
           
          　　該設備可針對不同材料設置鍵合溫度、壓力與真空度，精準低偏差。
           
          　　操作靈活簡單，上手快
           
          　　工作平臺操作方式為上下芯片手工對準貼合，自動加壓鍵合。
          
        
          
        
    
          

          




          
	
          
        
    
          
    
    
          
        
          
        	
          熱線電話：18550094419
          
            
          
            	
            
                	
            • 
                    
            • 
                    
            •                     
                    
            
                
          
            
          
        
          
        
          
            
          掃描微信號
          
        
          
        
          
        
          
          
          Copyright © 2025 納智達（上海）納米技術有限公司 版權所有    備案號：滬ICP備2022020120號-1
          
          
          技術支持：化工儀器網    管理登錄    sitemap.xml
          
        
          
    
          

          







 
  



主站蜘蛛池模板：
色偷偷88888欧美精品久久久|
国产精品第六页|
久久线看观看精品香蕉国产|
久久久久人妻一区精品果冻|
国产精品丝袜黑色高跟鞋|
欧美精品福利在线视频
|
精品无码专区亚洲|
国产成人精品免费视频网页大全
|
精品国产三级a乌鸦在线观看|
99国产精品国产精品九九|
无码国内精品久久人妻麻豆按摩
|
午夜精品一区二区三区在线视|
午夜精品久视频在线观看|
人人妻人人澡人人爽欧美精品
|
久久亚洲国产精品123区|
精品国产日产一区二区三区|
无码精品一区二区三区在线|
老司机精品影院91|
国产精品免费视频观看拍拍|
精品999久久久久久中文字幕|
久久水蜜桃亚洲av无码精品麻豆|
亚洲av午夜国产精品无码中文字
|
久久精品女人天堂AV麻|
亚洲国产精品久久66|
99国产精品国产精品九九|
久久亚洲私人国产精品vA|
最新国产精品拍自在线播放|
午夜在线视频91精品|
国产精品伊人久久伊人电影|
2021国产成人精品久久|
久久久国产精品网站|
99久久精品国产麻豆|
国产精品无码一区二区三区电影|
午夜精品久久久久久中宇|
亚洲成网777777国产精品|
欧美精品高清在线xxxx|
手机日韩精品视频在线看网站|
久久精品亚洲福利|
欧美精品成人3d在线|
日批日出水久久亚洲精品tv|
欧美精品亚洲人成在线观看
|